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過氧化氫低溫等離子滅菌器的滅菌原理：
低溫等離子滅菌器是在密封容器構成的滅菌室內，依據預設條件和特定的設備，激發發生輝光放電，構成低溫等離子體。再以過氧化氫作為介質，等離子體中含有氫氧自由基HO·、過羥自由基HO2·、激發態、活性氧原子O·活化氫原子H·等活性成分，這些活性離子以及豐富的紫外線具有很高的熱動能，從而很大地提高了與微生物蛋白質和核酸物質的效果效能，可在很短的時間內使微生物逝世，到達對器械滅菌的意圖。
低溫等離子過氧化氫滅菌系統是根據上述等離子的固有特性，在低溫（60℃以下）和真空狀態下，經過高頻電場效果，使滅菌容器艙內構成均勻的等離子場，等離子體在構成過程中發生的很多紫外線，可直接損壞微生物的基因物質，紫外線固有的光解效果打破了微生物分子的化學鍵，終生成揮發性的化合物。經過等離子體的蝕刻效果，等離子中活性物質與微生物體內的蛋氫質和核酸發生化學反應，可以摧毀微生物和打亂微生物的生計功用。然后注入過氧化氫為滅菌劑，在滅菌艙內霧化彌漫。過氧化氫在此效果中將會有離子化分化反應，并效果于微生物之細胞，損壞其生命，進一步對微生物施行殺滅。滅菌完成后分化成水分子及氧分子，無毒害物質殘留，不需通風和排水，環保。
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